真空镀膜工艺流程(真空镀膜机抽真空步骤)
文章出处:华仁仪表 发表时间:2021-09-27 10:26
一、电控柜的操作
第一步是打开水泵和气源,然后开总电源,接下来就是开维持泵和真空计电源,等真空计档位置V1的时候,等其他值小于10之后(约需5分钟)就可以开机械泵、予抽,开涡轮分子泵电源启动,把真空计开关换到V2的位置抽到小于2(约需20分钟)之后再涡轮分子泵的读数达到250以后把予抽关了,开前机和高阀继续工作,抽真空达到到一定程度之后把右边的高真空表头打开,达到2×10-3之后打开电子枪电源。
二、关机顺序
先把高真空表头关了再把分子泵关了等分子泵显示50时再依次关高阀、前级、机械泵(期间约需40分钟)等到50以下的时候把维持泵关了就可以了。
正确的使用真空镀膜设备可以延长真空镀膜设备的寿命。#真空镀膜设备#
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