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真空计如何分类(真空计的作用)

文章出处:华仁仪表 发表时间:2021-09-27 10:27

真空计(Vacuum Gauge),又称规,是测量真空度或气压的仪器。一般利用不同气压下的某种物理效应的变化进行气压的测量。在科研和工业生产中广泛使用。按照真空计测量原理所利用的不同的物理机制,可将主要的真空计分为三大类,分别是利用力学性能,利用气体动力学和利用带电粒子效应的真空计。利用力学性能的真空计典型的有波尔登规(Bourdon)和薄膜电容规;利用气体力学效应的典型真空计有皮拉尼(Pirani)电阻规和电热偶规;利用带电粒子效应的典型真空计有热阴极电离规和冷阴极电离规。

1、波尔登规(Bourdon)

2、薄膜电容规

3、皮拉尼规

4、热电偶规

5、热阴极电离规

6、冷阴极电离规


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